THE MECHANISM OF FORMATION, THE STRUCTURE AND THE PROPERTIES OF AMORPHOUS FILMS

被引：19

作者：

GUTZOW, I

AVRAMOV, I

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(81)90118-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：203 / 221

页数：19

共 47 条

[21]

HIRTH J, 1965, CONDENSATION EVAPORA

HOLLAND, L ;

OJHA, SM .

[23]

KAISHEW R, 1962, B I PHYS CHIM, V2, P5

[24]

Kaishew R., 1951, B ACAD SCI BULG SER, V2, P191

[25]

KINGERY WD, 1963, ADV GLASS TECHNOLO 2, P24

[26] APPLICATION OF RF DISCHARGES TO SPUTTERING [J].

KOENIG, HR ;

MAISSEL, LI .

[27]

KOMNIK FJ, 1964, FIZ TVERD TELA, V6, P2897

[28]

KULIKOV GA, 1958, 2ND P C GLASS STRUCT

[29]

LACKMANN B, 1962, Z NATURFORSCH A, V17, P812

[30]

LACKMANN B, 1962, Z NATURFORSCH A, V17, P808