ULTRAHIGH-VACUUM FIELD EMITTER ARRAY WAFER TESTER

被引：7

作者：

GRAY, HF

ARDIS, L

CAMPISI, GJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1139275

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：301 / 304

页数：4

共 5 条

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