PROBLEMS ASSOCIATED WITH THIN-FILM MEASUREMENT USING DOUBLE BEAM INTERFERENCE MICROSCOPY

被引：3

作者：

DOWNS, MJ

机构：

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1981年 / 14卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/14/1/003

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

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页码：24 / 26

页数：3

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共 3 条

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