A TSTA COMPOUND CRYOPUMP

被引：11

作者：

BATZER, TH

PATRICK, RE

CALL, WR

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570854

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1125 / 1130

页数：6

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共 5 条

[1]

BATZER TH, 1978, 10TH P S FUS TECHN P, V2, P745

[2]

COENSGEN FH, 1976, LLLPROP142 LAWR LIV

[3]

COFFIN DO, 1980, 8TH P S ENG PROBL FU, V1, P513

[4]

FISCHER PW, 1979, J VAC SCI TECHNOL, V16, P75

[5]

1980, ETF EXPT TEST FACILI