DEUTERIUM AT THE SI-SIO2 INTERFACE DETECTED BY SECONDARY-ION MASS-SPECTROMETRY

被引：65

作者：

JOHNSON, NM ^{[1
]}

BIEGELSEN, DK ^{[1
]}

MOYER, MD ^{[1
]}

DELINE, VR ^{[1
]}

EVANS, CA ^{[1
]}

机构：

[1] CHARLES EVANS & ASSOC,SAN MATEO,CA 94402

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.92225

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：995 / 997

页数：3

共 9 条

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