PRECIPITATION OF PHOSPHORUS ARSENIC AND BORON IN THIN SILICON FOILS

被引：19

作者：

JOSHI, ML

DASH, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1147/rd.113.0271

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：271 / &

共 26 条

[1]

AMELINCKX S, 1964, DIRECT OBSERVATIONS, P71

[2]

AMELINCKX S, 1964, DIRECT OBSERVATIONS, P377

ASHBY, MF ;

BROWN, LM .

PHILOSOPHICAL MAGAZINE, 1963, 8 (91) :1083-&

[4]

BECK C, TO BE PUBLISHED

[5]

BEREZHONOI AS, 1960, SILICON ITS BINARY S, P64

[6]

BEREZHONOI AS, 1960, SILICON ITS BINARY S, P14

FEDERIGHI, T ;

THOMAS, G .

PHILOSOPHICAL MAGAZINE, 1962, 7 (73) :127-&

[8]

GIESSEN B, 1959, Z METALLKD, V5, P174

[9]

HIRSCH PB, 1965, ELECTRON MICROS, P341

[10]

HOWIE A, 1962, P ROY SOC, VA267, P206