RF-SPUTTERED FERROELECTRIC BARIUM-TITANATE FILMS ON SILICON

被引：17

作者：

PANITZ, JKG ^{[1
]}

HU, CC ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV NEW MEXICO,ALBUQUERQUE,NM 87131

来源：

关键词：

D O I：

10.1080/00150198008226090

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：161 / 164

页数：4

共 15 条

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