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SPUTTERING OF SILICON AND GERMANIUM BY MIDDLE-ENERGY HEAVY-IONS
被引：39
作者：
SOMMERFELDT, H
MASHKOVA, ES
MOLCHANOV, VA
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0375-9601(72)90059-X
中图分类号：
O4 [物理学];
学科分类号：
0702 ;
摘要：
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