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PATTERN COMPARISON BY INTERFERENCE FRINGE SCANNING
被引:2
作者
:
TSURUTA, T
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0
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0
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0
机构:
NIPPON KOGAKU KK,RES LAB,1-6-3 NISHIOI,SHINAGAWAKU 140,TOKYO,JAPAN
NIPPON KOGAKU KK,RES LAB,1-6-3 NISHIOI,SHINAGAWAKU 140,TOKYO,JAPAN
TSURUTA, T
[
1
]
ITOH, Y
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NIPPON KOGAKU KK,RES LAB,1-6-3 NISHIOI,SHINAGAWAKU 140,TOKYO,JAPAN
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ITOH, Y
[
1
]
SHIRASU, H
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NIPPON KOGAKU KK,RES LAB,1-6-3 NISHIOI,SHINAGAWAKU 140,TOKYO,JAPAN
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SHIRASU, H
[
1
]
机构
:
[1]
NIPPON KOGAKU KK,RES LAB,1-6-3 NISHIOI,SHINAGAWAKU 140,TOKYO,JAPAN
来源
:
APPLIED OPTICS
|
1974年
/ 13卷
/ 05期
关键词
:
D O I
:
10.1364/AO.13.001089
中图分类号
:
O43 [光学];
学科分类号
:
070207 ;
0803 ;
摘要
:
引用
收藏
页码:1089 / 1092
页数:4
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共 2 条
[1]
RAU JF, 1970, Patent No. 3519992
[2]
INTERFERENCE METHOD FOR PATTERN COMPARISON
WEINBERGER, H
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WEINBERGER, H
ALMI, U
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ALMI, U
[J].
APPLIED OPTICS,
1971,
10
(11)
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