DEPOSITION AND DETECTION OF AG AND AU FILMS BELOW 0.01 MONOLAYER

被引：10

作者：

BEHRNDT, ME

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1971年 / 8卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1315384

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：724 / &

共 20 条

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