IMPURITIES IN THIN-FILMS PRODUCED BY ION-BEAM SPUTTERING

被引：5

作者：

BHATTACHARYA, RS

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.19.L523

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L523 / L526

页数：4

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