ELECTROCOATING OF SILICON AND ITS DEPENDENCE ON THE TIME OF ELECTROLYSIS

被引:12
作者
RAO, GM
ELWELL, D
FEIGELSON, RS
机构
来源
SURFACE TECHNOLOGY | 1981年 / 13卷 / 04期
关键词
D O I
10.1016/0376-4583(81)90107-2
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:331 / 337
页数:7
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