RELATION BETWEEN OPTICAL ORIENTATION ACCURACY AND ETCH TIME

被引：2

作者：

OSTAPKOVICH, PL

RANALDI, M

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1959年 / 30卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1735115

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：2019 / 2019

页数：1

相关论文

共 3 条

[1] HANCOCK RD, 1956, SIMPLIFIED LIGHT REF
[2] PELLIN RA, 1958, METHOD DETERMINING C
[3] SCHWUTTKE GL, 1958, SYLVANIA TECHNOLOGIS, V11