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ELECTRON-BEAM RECRYSTALLIZATION OF CHEMICALLY VAPOR-DEPOSITED POLYSILICON FILMS
被引：5
作者：
SOLOMON, SJ
GREENWALD, AC
NEAL, WE
KIRKPATRICK, AR
机构：
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(79)90125-1
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页数：1
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