TRENDS IN THE DEVELOPMENT AND USE OF TURBOMOLECULAR PUMPS

被引：7

作者：

HENNING, J

机构：

来源：

VACUUM | 1978年 / 28卷 / 10-1期

关键词：

D O I：

10.1016/S0042-207X(78)80004-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：391 / 398

页数：8

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