THERMOPHORETIC DEPOSITION OF SMALL PARTICLES IN THE MODIFIED CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION (MCVD) PROCESS

被引:95
作者
WALKER, KL
GEYLING, FT
NAGEL, SR
机构
关键词
D O I
10.1111/j.1151-2916.1980.tb10763.x
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
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页码:552 / 558
页数:7
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