STRUCTURAL AND CHEMICAL CHARACTERIZATION OF DIAMOND FILMS AND DIAMOND SUBSTRATE INTERFACES

被引：6

作者：

WILLIAMS, BE ^{[1
]}

GLASS, JT ^{[1
]}

DAVIS, RF ^{[1
]}

KOBASHI, K ^{[1
]}

HORIUCHI, T ^{[1
]}

机构：

[1] KOBE STEEL LTD,ASADA RES LABS,KOBE 651,JAPAN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.575261

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1819 / 1820

页数：2