SUBSTRATE CLEANING FOR INTEGRATED OPTICAL WAVEGUIDES

被引：5

作者：

BRANDT, GB ^{[1
]}

SUPERTZI, EP ^{[1
]}

HENNINGSEN, T ^{[1
]}

机构：

[1] WESTINGHOUSE ELECT CORP, RES LABS, PITTSBURGH, PA 15235 USA

来源：

APPLIED OPTICS | 1973年 / 12卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.12.002898

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

收藏

页码：2898 / 2900

页数：3

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共 3 条

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