EMISSION-SPECTROSCOPY AS A NONINVASIVE PROBE FOR PROCESS-CONTROL DURING RADIO-FREQUENCY SPUTTER DEPOSITION OF PBTE

被引：3

作者：

COOK, JG ^{[1
]}

AOUADI, MS ^{[1
]}

DAS, SR ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV OTTAWA,DEPT PHYS,OTTAWA K1N 6N5,ONTARIO,CANADA

来源：

关键词：

D O I：

10.1139/p89-050

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

页码：287 / 293

页数：7

共 7 条

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