ELECTRON IMAGE PROJECTION SYSTEMS FOR MICROCIRCUIT LITHOGRAPHY

被引：9

作者：

LIVESAY, WR

FRITZ, RB

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1972年 / ED19卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1972.17467

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：647 / &

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