SOFT-X-RAY MICROSCOPY-LITHOGRAPHY BRANCH LINE AT SSRL

被引：7

作者：

WARBURTON, WK

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1980年 / 172卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(80)90668-0

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：387 / 391

页数：5

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共 4 条

[1] BARBEE TW, SSRL7902 REP
[2] JAMES RW, 1965, OPTICAL PRINCIPLES D, P167
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