AUTOMATION OF ETCHING-PATTERN LAYOUT

被引：5

作者：

ARAMAKI, I

KAWABATA, T

ARIMOTO, K

机构：

来源：

COMMUNICATIONS OF THE ACM | 1971年 / 14卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1145/362854.362886

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

收藏

页码：720 / +

页数：1

相关论文

共 2 条

[1]

FISK CJ, 1967, P IEEE, V55, P11

[2]

LEE CY, 1961, IRE T ELECTRON COMPU, V10, P346