PREPARATION OF HIGH-PURITY SILICON FROM SILANE

被引:11
作者
LEWIS, CH
KELLY, HC
GIUSTO, MB
JOHNSON, S
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2427966
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:1114 / 1118
页数:5
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