VACUUM EVAPORATED SILICON LAYERS FREE FROM STACKING FAULTS

被引:13
作者
BOOKER, GR
UNVALA, BA
机构
来源
PHILOSOPHICAL MAGAZINE | 1963年 / 8卷 / 93期
关键词
D O I
10.1080/14786436308207323
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:1597 / &
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共 5 条
  • [1] BOOKER GR, 1963, JUL EL MICR C
  • [2] HAASE O, 1962, 1961 AIME MET SOC C, V15, P159
  • [3] HAIDINGER W, 1963, VIDE, P141
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