THE NATIONAL-BUREAU-OF-STANDARDS ORIFICE-FLOW PRIMARY HIGH-VACUUM STANDARD

被引：9

作者：

MCCULLOH, KE

TILFORD, CR

WOOD, SD

MARTIN, DF

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1986年 / 4卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.573928

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：362 / 362

页数：1

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共 2 条

[1]

POULTER KF, 1983, J PHYS E, V10, P112

[2]

TILFORD CR, 1983, J VAC SCI TECHNOL A, V1, P152, DOI 10.1116/1.572063