PHOSPHORUS DIFFUSION EFFECT ON OFF-CURRENT OF A-SI THIN-FILM TRANSISTORS

被引：6

作者：

SASANO, A

MATSUMARU, H

KANEKO, Y

TSUKADA, T

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(87)90310-3

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1295 / 1298

页数：4

共 8 条

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