ION FLUX CHARACTERISTICS IN ARC VAPOR-DEPOSITION OF TIN

被引:69
作者
BERGMAN, C
机构
关键词
D O I
10.1016/0257-8972(88)90154-5
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
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页码:243 / 255
页数:13
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