POLISHING SILICON SURFACES STRAIN-FREE AND FLAT TO BETTER THAN LAMBDA-20

被引：2

作者：

SECKOLD, J ^{[1
]}

ZOSI, G ^{[1
]}

机构：

[1] IST METROL G COLONNETTI,TORINO,ITALY

来源：

APPLIED OPTICS | 1986年 / 25卷 / 18期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.25.003006

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：3006 / 3007

页数：2

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共 8 条

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