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SUBMICRON, FOOTPRINT, AIR BRIDGES DEFINED BY ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY
被引：2
作者：
SHERWIN, ME
CORLESS, R
WENDT, JR
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
|
1993年
/
11卷
/
02期
关键词：
D O I：
10.1116/1.586681
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
引用
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页码：339 / 340
页数：2
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