HYDRODYNAMIC DESCRIPTION OF CVD PROCESSES

被引：160

作者：

WAHL, G ^{[1
]}

机构：

[1] BROWN BOVERI & CIE AG, CENT RES LAB, HEIDELBERG, GERMANY

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(77)90099-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页数：14

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