A COMPARISON OF THICKNESS-MEASURING METHODS

被引：4

作者：

LOUIE, M ^{[1
]}

CHRISTY, R ^{[1
]}

机构：

[1] TRIBO COATING,MALIBU,CA

来源：

THIN SOLID FILMS | 1987年 / 154卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(87)90373-7

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：291 / 299

页数：9

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