A SUBSTRATE-TEMPERATURE MEASUREMENT SYSTEM FOR USE DURING RF DIODE SPUTTERING

被引：4

作者：

SNYDER, JE

KRYDER, MH

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1989年 / 60卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1141013

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：749 / 751

页数：3

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共 2 条

[1]

BERGER LL, UNPUB

[2]

1988, OMEGA COMPLETE TEMPE, V26, pE17