A NEW TECHNIQUE FOR THE VAPOR-PHASE EPITAXIAL-GROWTH OF ZNO AS A GUIDED-WAVE OPTICAL MATERIAL

被引:9
作者
AOKI, M [1 ]
TADA, K [1 ]
MURAI, T [1 ]
INOUE, T [1 ]
机构
[1] TOKYO METROPOLITAN TECH COLL,SHINAGAWA KU,TOKYO 140,JAPAN
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(81)90681-7
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:283 / 288
页数:6
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