HIGH-VELOCITY CARBON-DIOXIDE SNOW FOR CLEANING VACUUM-SYSTEM SURFACES

被引：20

作者：

LAYDEN, L

WADLOW, D

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1990年 / 8卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.576465

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

收藏

页码：3881 / 3883

页数：3

相关论文

共 3 条

[1]

GERRISTEAD WR, 1987, RES DEV, V29, P93

[2]

HOENIG SA, 1986, COMPRESSED AIR M AUG

[3]

Whitlock W. H., 1989, US Patent, Patent No. [4,806,171, 4806171]