DEVELOPMENT OF ERC COLD-CATHODE ION-SOURCE FOR USE ON PR-30 ION-IMPLANTATION SYSTEM

被引：7

作者：

BIRD, HMB

FLEMMING, JP

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569739

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1070 / 1075

页数：6

共 4 条

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