THE EFFECTS OF SUBSTRATE HEATING AND ION CLEANING ON THICK-FILM ADHESION

被引：12

作者：

COAD, JP

DUGDALE, RA

MARTINDALE, LP

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/S0042-207X(81)80044-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：365 / 370

页数：6

共 19 条

[1]

ALNAIMI A, 1980, VIDE COUCHES MINCE S, V1

[2]

ALNAIMI A, 1980, 8TH P INT VAC C CANN, P336

[3] FESTKORPERZERSTAUBUNG DURCH IONENBESCHUSS [J].

BEHRISCH, R .

ERGEBNISSE DER EXAKTEN NATURWISSENSCHAFTEN, 1964, 35 :295-443

[4]

BONHAM HB, 1979, 1978 P WASH S SURF C, P271

[5]

COAD JP, 1979, 1979 P INT C ION PLA, P186

[6]

DAVIDGE RW, 1979, MECHANICAL BEHAVIOUR

[7] Heat-Pulse Effects on Glass [J].

Dugdale, R. A. ;

Ford, S. D. .

[8] NEW VAPOR-DEPOSITION TECHNIQUE [J].

DUGDALE, RA .

[9]

DUGDALE RA, 1965, BRIT CERAM T, V64, P287

[10]

DUGDALE RA, 1976, T I MET FINISH, V54, P61