NITROGEN-INDUCED FCC PHASE IN RF SPUTTERED CO-CR FILMS HAVING THE HCP PHASE AND PERPENDICULAR MAGNETIC-ANISOTROPY

被引:34
作者
COUGHLIN, TM [1 ]
WUORI, ER [1 ]
JUDY, JH [1 ]
机构
[1] UNIV MINNESOTA,DEPT ELECT ENGN,MINNEAPOLIS,MN 55455
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.571351
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
3
引用
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页数:4
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