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THE CONSTRUCTION OF SMALL PLANAR MAGNETRONS FOR SPUTTERING USE
被引：7
作者：
ELPHICK, C
机构：
来源：
关键词：
D O I：
10.1016/S0042-207X(81)80089-9
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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