CHARACTERIZATION OF PYROLYTIC CARBON DEPOSITED ON GRAPHITE SUBSTRATES IN INDUCTIVE RF-PLASMAS OF PROPYLENE AND ARGON

被引：10

作者：

INSPEKTOR, A ^{[1
]}

HORNIK, Y ^{[1
]}

CARMI, U ^{[1
]}

AVNI, R ^{[1
]}

WALLURA, E ^{[1
]}

HOVEN, H ^{[1
]}

KOIZLIK, K ^{[1
]}

NICKEL, H ^{[1
]}

机构：

[1] FORSCHUNGSZENTRUM JULICH, INST REAKTORWERKSTOFFE, D-5170 JULICH 1, FED REP GER

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(80)90574-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：195 / 200

页数：6