KINETICS OF METAL INTERLAYER GROWTH IN POLYIMIDE FILMS - METAL DISTRIBUTIONS IN THE NON-STEADY-STATE REGIME AND WITH CONSTRAINTS OF PATTERNED BOUNDARIES

被引:4
作者
DEE, GT
MANRING, LE
MAZUR, S
机构
关键词
D O I
10.1021/j100311a029
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
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