SPUTTERED AU-TA-O CERMET FOR THIN FILM RESISTORS - PRELIMINARY STUDY

被引：3

作者：

HARVEY, J

CORKHILL, J

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(71)90060-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：427 / &

共 15 条

[1]

BECKERMAN M, 1961, 8 T NAT VAC S AM VAC, P905

[2]

BERRY RW, 1964, P ELECTRONIC COMP C, P86

[3]

BRAUN L, 1966, IEEE P, V54, P1521

[4]

FARRELL JP, 1966, IEEE COMPONENTS C, P213

[5]

GLAND R, 1966, 13 T NAT VAC S AM VA, P91

[6]

Harvey J., 1970, Thin Solid Films, V6, P277, DOI 10.1016/0040-6090(70)90126-4

[7]

HARVEY J, 1970, RAE70157 TECHN REP

[8] The Mechanism of Reactive Sputtering [J].

Hollands, E. ;

Campbell, D. S. .

[9]

LANE CH, AD648018

[10]

LANE CH, 1967, RADCTR66783 REP