SPUTTERING TECHNIQUES FOR CONTROLLING COMPOSITION OF THIN FILMS OF HIGH-TC SUPERCONDUCTING COMPOUNDS

被引:8
作者
GAVALER, JR
JANOCKO, MA
HULM, JK
JONES, CK
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1971年 / 8卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.1316281
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:180 / +
页数:1
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