LEED CORROSIVE GAS INLET SYSTEM

被引：3

作者：

TIDESWELL, NW

BALLINGA.JM

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1970年 / 7卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1315376

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：496 / +

页数：1

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