INTRINSIC STRESS IN EVAPORATED METAL FILMS

被引：41

作者：

KLOKHOLM, E

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1492645

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：138 / &

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共 2 条

[1]

Hoffman R. W., 1966, PHYS THIN FILMS, VVol. 3, pp. 211

[2] INTRINSIC STRESS IN EVAPORATED METAL FILMS [J].

KLOKHOLM, E ;

BERRY, BS .

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1968, 115 (08) :823-&