SURFACE CLEANING BY ULTRAVIOLET-RADIATION

被引：66

作者：

SOWELL, RR ^{[1
]}

CUTHRELL, RE ^{[1
]}

MATTOX, DM ^{[1
]}

BLAND, RD ^{[1
]}

机构：

[1] SANDIA LABS,ALBUQUERQUE,NM 87115

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318658

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：474 / 475

页数：2

共 7 条

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BOLON, DA ;

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