OPTICAL STUDY OF SPACE-CHARGE INJECTION IN PLASMA DEPOSITED A-SI-H

被引:6
作者
MESCHEDER, U
WEISER, G
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(85)90725-2
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
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共 4 条
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