FILM THICKNESS DETERMINATION FROM SUBSTRATE X-RAY REFLECTIONS

被引：8

作者：

KEATING, DT

KAMMERER, OF

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1958年 / 29卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1715999

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：34 / 36

页数：3

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共 2 条

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