未找到相关数据
IMPURITY SURVEY ANALYSIS OF SEMICONDUCTOR LAYERS BY LASER SCAN MASS-SPECTROMETRY
被引：16
作者：
GRAINGER, F
ROBERTS, JA
机构：
关键词：
D O I：
10.1088/0268-1242/3/8/012
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
引用
收藏
页码：802 / 807
页数：6
相关论文