AN ALL-NIOBIUM 8 LEVEL PROCESS FOR SMALL AND MEDIUM SCALE APPLICATIONS

被引:34
作者
YU, LS
BERRY, CJ
DRAKE, RE
LI, K
PATT, R
RADPARVAR, M
WHITELEY, SR
FARIS, SM
机构
关键词
D O I
10.1109/TMAG.1987.1065093
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:1476 / 1479
页数:4
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