IOTA, A NEW COMPUTER CONTROLLED THIN-FILM THICKNESS MEASUREMENT TOOL

被引:27
作者
KONNERTH, KL
机构
关键词
D O I
10.1016/0038-1101(72)90107-4
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:371 / &
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